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SiC晶圆缺陷检测设备 Mars4410
- 产品描述：
- Mars 4410是一款面向SiC衬底片、同质外延片、腐蚀片的自动化缺陷检测设备。设备采用微分干涉相差和光致发光等多种检测手段，具有低噪声和高分辨率成像，高检测通量和高检出率等优势，晶圆检测与数据分析并行处理，晶圆缺陷与器件失效相关联，满足提升SiC晶圆良率的需求。
- 产品参数：
- 应用范围：SiC抛光衬底片、同质外延片、腐蚀片的缺陷检测分析
可测晶片尺寸：4, 6, 8 英寸
联系方式：
技术支持：李经理 18516300193
销售热线：张经理 13934639941
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