产品及解决方案
我们为您提供关于中电科风华的最新产品及解决方案
Saturn 3510
- 产品描述：
- 应用于GaN外延片的自动化缺陷检测。设备采用点共焦旋转扫描的工作原理进行缺陷检测，可以自动实时对焦和多通道采集数据，具有低噪声和高分辨率成像等优势，采用基于深度学习的自动缺陷检测算法，晶圆检测与数据分析能够并行处理，满足4、6、8英寸晶圆的生产检测与器件良率提升的需求。
- 产品参数：
- 应用范围：GaN外延片自动化缺陷检测
可测晶片尺寸：4,6,8英寸
联系方式：
邮箱地址：service@zdkfh-ie.com
联系电话：0351-6525757
解决方案
相关产品
