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SiC晶圆缺陷检测设备 Mars 4420
产品描述：
Mars 4420是一款面向SiC抛光衬底片、同质外延片的高检测速度、自动化缺陷检测设备。设备采用微分干涉相差、光致发光、暗场散射等多手段检测，可以自动实时对焦和多通道采集数据，具有低噪声和高分辨率成像等优势，采用基于深度学习的自动缺陷检测算法，晶圆检测与数据分析能够并行处理，满足标准4、6、8英寸SiC晶圆与非标准尺寸晶圆的生产检测与器件良率提升的需求。
产品参数：
应用范围：SiC抛光衬底片、同质外延片缺陷检测分析
可测晶片尺寸：支持4, 6, 8 英寸及其他非标尺寸
检测通道：明场、暗场、双PL，同时检测
联系方式：
技术支持：李经理 18516300193
销售热线：张经理 13934639941

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