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显微成像无图形晶圆检测设备
产品描述：
Mars系列设备是一款面向抛光衬底片、外延片的高速全自动缺陷检测设备。设备采用微分干涉相差、光致发光、暗场散射等检测手段，可以自动实时对焦和多通道采集数据，具有低噪声和高分辨率成像等优势，采用基于深度学习的自动缺陷检测算法，晶圆检测与数据分析能够并行处理，满足4、6、8、12英寸和非标尺寸的晶圆的生产检测与器件良率提升的需求。
产品参数：

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