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SiC晶圆半自动检测仪Mars4410Lite
- 产品描述：
- Mars 4410 Lite是一款手动上下料、面向SiC晶圆衬底片表面微管、腐蚀后位错的检测设备。设备采用微分干涉相差的光学显微成像技术，可进行全片扫描并采集完整数据并自动输出晶圆分布图。
- 产品参数：
- 应用范围：SiC衬底片表面的微管、腐蚀后的位错检测分析
可测晶片尺寸：支持6, 8 英寸
传片方式：手动上下料（可升级为自动上下料）
联系方式：
技术支持：李经理 18516300193
销售热线：张经理 13934639941
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