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SiC晶圆位错检测仪Mars4400
产品描述：
Mars 4400是一款面向SiC晶圆腐蚀后的位错的检测设备。设备采用微分干涉相差的光学显微成像技术，可进行全片扫描并采集完整数据，计算并自动统计位错数量与密度，生成位错密度图。
产品参数：
应用范围：SiC晶圆腐蚀后的位错检测分析
可测晶片尺寸：支持6, 8 英寸
传片方式：手动上下料
联系方式：
技术支持：李经理 18516300193
销售热线：张经理 13934639941

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