Saturn 3520

Saturn 3520 的检测灵敏度高达 60 纳米，可稳定捕捉对碳化硅器件性能有致命影响的微管、层错、贯穿螺型位错等纳米级晶体原生缺陷，以及外延生长过程中的纳米级颗粒沾污。

Saturn 3520 集成了超多通道同步检测架构：
· 明场：反射光强+相位，获取形貌对比度与相位延迟信息
· 暗场：正入射+斜入射，斜入射对微小颗粒与浅表层划痕超高灵敏
· 形貌：径向+切向剪切干涉，纳米级精度三维形貌表征
· 光致发光：紫外/可见/红外多光源，识别晶格结构缺陷与无表面形貌的隐性异常

Saturn 3520：激光点共焦螺旋扫描，灵敏度60nm，多通道同步（明场/暗场/形貌/光致发光），尤其擅长晶体内部晶格结构缺陷（微管、层错、BPD）检测。
Mars 4420：面阵积分成像，灵敏度83nm，四通道（明场/PL1/PL2/暗场），适合大规模量产检测，主要针对表面及近表面缺陷。

Saturn 3520 提供双模式灵活切换：
· 高产率模式：6英寸≥62 WPH / 8英寸≥35 WPH，适用于大规模量产快速工艺监控
· 高灵敏度模式：6英寸≥22 WPH / 8英寸≥13 WPH，适用于研发、新工艺导入或出货终检等对缺陷零容忍的场景

光致发光(PL)通道是 Saturn 3520 的关键差异化能力。通过紫外/可见/红外多种激发光源，探测晶圆在激光激发下发出的荧光信号，直接反映材料的能带结构与缺陷能级信息。这对于识别和分类无表面形貌异常的晶格结构缺陷（如位错、层错、BPD）具有不可替代的价值，可与暗场通道交叉验证，精确区分致命结构缺陷与可清洗的表面颗粒。

Saturn 3520 全面兼容 Si硅、SiC碳化硅、GaN氮化镓、GaAs砷化镓、InP磷化铟 等无图形晶圆材料，适用于 4/6/8/12英寸 及非标尺寸晶圆，支持衬底片和外延片的表面及内部晶格缺陷检测，并可对晶圆表面雾化粗糙度进行量化评估。